中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所原名中國科學(xué)院上海冶金研究所，前身是成立于1928年的國立中央研究院工程研究所，是我國最早的工學(xué)研究機(jī)構(gòu)之一。新中國成立后隸屬中國科學(xué)院，曾命名中國科學(xué)院工學(xué)實(shí)驗(yàn)館、中國科學(xué)院冶金陶瓷研究所。2001年8月，根據(jù)科研領(lǐng)域和科技發(fā)展目標(biāo)的調(diào)整，更名為中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所（以下簡稱上海微系統(tǒng)所）。

在八十多年的發(fā)展進(jìn)程中，上海微系統(tǒng)所始終圍繞國家戰(zhàn)略需求，調(diào)整科研布局，發(fā)揮了對國民經(jīng)濟(jì)建設(shè)的骨干引領(lǐng)作用。上世紀(jì)五十年代，在國內(nèi)率先研制成功球墨鑄鐵，成功解決了包鋼高含氟鐵礦的冶煉和稀土元素回收。六十年代中期，發(fā)展微電子和集成電路制造技術(shù)，與工業(yè)部門合作研制出國內(nèi)第一塊工業(yè)實(shí)用PN結(jié)隔離集成電路、ECL高速電路和國內(nèi)第一塊8位、16位微處理器。八十年代中期，開展微電子機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）和SOI材料研究，在國內(nèi)居領(lǐng)先地位，并在國際上占據(jù)了重要的一席之地。

1998年進(jìn)入知識(shí)創(chuàng)新工程后，上海微系統(tǒng)所確定了電子科學(xué)與技術(shù)、信息與通信工程兩大學(xué)科領(lǐng)域和微小衛(wèi)星、無線傳感網(wǎng)絡(luò)、未來移動(dòng)通信、微系統(tǒng)技術(shù)、信息功能材料與器件五個(gè)學(xué)科方向，形成了“系統(tǒng)為牽引、系統(tǒng)帶器件、器件帶材料”的創(chuàng)新價(jià)值鏈。近年來，成功發(fā)射創(chuàng)新一號01、02和03星、“神舟七號”伴星，是我國微小衛(wèi)星的重要研制基地；實(shí)施了 “上海世博會(huì)防入侵傳感網(wǎng)”、“浦東機(jī)場防入侵系統(tǒng)”、 “奧運(yùn)會(huì)上海站火炬?zhèn)鬟f”、“太湖水質(zhì)監(jiān)控傳感網(wǎng)”等物聯(lián)網(wǎng)應(yīng)用示范工程，引領(lǐng)物聯(lián)網(wǎng)核心技術(shù)，推升為國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)；研發(fā)出具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的寬帶無線通信系統(tǒng)，應(yīng)用于汶川和玉樹抗震搶險(xiǎn)、上海世博會(huì)和廣州亞運(yùn)會(huì)安防等重大事件，在抗震救災(zāi)、維穩(wěn)、公共安全、數(shù)字化城市等方面發(fā)揮了不可替代的作用；SOI材料實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，填補(bǔ)國內(nèi)空白，應(yīng)用于國家重大關(guān)鍵工程，控股的上海新傲科技股份有限公司是國內(nèi)唯一一個(gè)具有國際先進(jìn)水平的國家級高端硅基材料產(chǎn)業(yè)化基地。

自建國以來，上海微系統(tǒng)所獲得國家級科技獎(jiǎng)項(xiàng)46項(xiàng)、部省級347項(xiàng)，其中“甲種分離膜”技術(shù)獲國家科技進(jìn)步特等獎(jiǎng)，“高速、超高速雙極型數(shù)字集成電路”、“高端硅基SOI材料研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化”獲國家科技進(jìn)步一等獎(jiǎng)。

上海微系統(tǒng)所現(xiàn)有傳感技術(shù)聯(lián)合國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室/微系統(tǒng)技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、信息功能材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，有中科院微小衛(wèi)星重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、中科院太赫茲固態(tài)技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、中科院無線傳感網(wǎng)與通信重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，設(shè)有傳感技術(shù)、信息功能材料、太赫茲固態(tài)技術(shù)、無線傳感網(wǎng)、物聯(lián)網(wǎng)系統(tǒng)技術(shù)、寬帶無線技術(shù)六個(gè)研究室和新能源技術(shù)中心、上海汽車電子工程中心，并在上海、南京、杭州、無錫、嘉興、南通與地方合作共建了七個(gè)分支機(jī)構(gòu)，與德國亥姆霍茲國家研究中心于利希中心共建了超導(dǎo)與生物電子學(xué)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，，與中國鐵路通信信號集團(tuán)公司共建了軌道交通傳感與傳輸聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，與吉林大學(xué)共建了地球物理探測技術(shù)聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，等。

上海微系統(tǒng)所現(xiàn)有在職職工803人，其中一線科技和管理人員606人，研究員及正高級工程技術(shù)人員94人，有中國科學(xué)院院士2人、中國工程院院士1人、美國國家科學(xué)院外籍院士1人，有國家“千人計(jì)劃”5人、中國科學(xué)院“百人計(jì)劃”18人、國家杰出青年科學(xué)基金獲得者4人、國家“百千萬人才工程”入選者6人、上海市科技領(lǐng)軍人才8人次。

上海微系統(tǒng)所是國務(wù)院學(xué)位委員會(huì)批準(zhǔn)的首批博士、碩士學(xué)位授予單位之一，設(shè)有電子科學(xué)與技術(shù)、信息與通信工程兩個(gè)專業(yè)一級學(xué)科博士/碩士研究生培養(yǎng)點(diǎn)，材料物理與化學(xué)專業(yè)二級學(xué)科博士/碩士研究生培養(yǎng)點(diǎn)，有電子科學(xué)與技術(shù)、材料科學(xué)與工程兩個(gè)專業(yè)一級學(xué)科博士后流動(dòng)站。現(xiàn)有在學(xué)研究生391人，其中碩士生214人、博士生177人，在站博士后19人。

面向“十二五”和“創(chuàng)新2020”，上海微系統(tǒng)所確定了圍繞國家戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，加快電子科學(xué)與技術(shù)、信息與通信工程兩大學(xué)科建設(shè)，解決“感知中國”戰(zhàn)略高技術(shù)問題，突破物聯(lián)網(wǎng)、MEMS核心器件、高端硅基SOI材料關(guān)鍵技術(shù)和產(chǎn)業(yè)化，成為無線傳感網(wǎng)、寬帶無線通信、微系統(tǒng)及相關(guān)材料與器件領(lǐng)域不可替代、“四個(gè)一流”研究所的戰(zhàn)略目標(biāo)，為國民經(jīng)濟(jì)建設(shè)和國家安全做出更大貢獻(xiàn)。