可靠性試驗是評估產品一定時間內可靠性水平,暴露存在的問題。可靠性是設計并制作在產品內的,而不是試驗出來的。可靠性試驗只能降低用戶的風險。新的可靠性評估方法是為評估生產線的設計及工藝水平的,相信合格的生產線能把可靠性做到產品中去。
一、溫度沖擊(循環)試驗(TC /TS)測試
目的:模擬環境溫度變化或開關機造成的溫度變化,考核溫度交替變化對產品機械/電性能的影響,暴露粘片/鍵合/塑封等封裝工藝/材料缺陷,及金屬化/鈍化等圓片工藝問題。
條件:-65℃~150℃ (500cycle/1000cycle)
失效機理:不同材料間熱膨脹系數差異造成界面熱匹配問題,造成金線斷裂、鍵合脫落(開路)、塑封開裂(密封性失效)、界面分層(熱阻增大) 、鍵合線開短路 、鈍化層開裂、硅鋁接觸開路、芯片背面劃痕繼續長大導致芯片開裂。
測試標準: JESD22-A104-C
二、高壓加速壽命試驗/高壓蒸煮(PCT/Autoclave)
目的:檢驗器件抵抗水汽侵入及腐蝕的能力,不包括外部腐蝕。
條件: 121℃/100%RH,205kPa(2atm),96hrs。
失效機理:濕氣通過塑封體及各界面被吸入并到達芯片表面,在鍵合區形成原電池而加速鋁的腐蝕。另外,水汽帶入的雜質在器件表面形成漏電通道。試驗后因管腳腐蝕引起的開路或塑封體表面漏電等失效不計。
試驗標準: JESD22-A102C
三、高溫高濕試驗
目的:模擬非密封器件在高溫高濕環境下工作,檢驗塑封產品抗水汽侵入及腐蝕的能力。
條件: 85℃/85%RH,168hrs
失效機理:器件在高溫高濕的環境下,加速了芯片鍵合及表面的電解腐蝕,評估器件在存儲環境中對水汽的抵抗能力。
測試標準: JESD22-A101-B
適用的研發和工藝改進:
1、高溫擴散工藝技術的改進(重點是高溫長時間擴散,如隔離擴散)包括可能引起硅片內部隱裂的工藝技術改進
2、包封工藝技術、框架處理工藝技術的改進
3、塑封料、框架的變更
4、新產品(含新的封裝結構)
5、封裝工藝過程中的污染
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